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一种集成DFB半导体激光器及其制备方法
其他题名一种集成DFB半导体激光器及其制备方法
薛正群; 吴林福生; 杨重英; 陆绿; 苏辉
2019-07-23
专利权人福建中科光芯光电科技有限公司
公开日期2019-07-23
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明涉及一种集成DFB半导体激光器及其制备方法。从激光器一半腔长处沿腔长方向朝向激光器出光端面引出一分支圆弧状分支波导,且在激光器出光端面处所述分支圆弧状分支波导与直脊波导具有一间距,所述分支圆弧状分支波导与直脊波导之间形成有离子注入区域。本发明可以达到出光和探测一体的功能,从而降低器件成本,而发散角的改善又能达到提高耦合出光功率的效果。
其他摘要本发明涉及一种集成DFB半导体激光器及其制备方法。从激光器一半腔长处沿腔长方向朝向激光器出光端面引出一分支圆弧状分支波导,且在激光器出光端面处所述分支圆弧状分支波导与直脊波导具有一间距,所述分支圆弧状分支波导与直脊波导之间形成有离子注入区域。本发明可以达到出光和探测一体的功能,从而降低器件成本,而发散角的改善又能达到提高耦合出光功率的效果。
主权项一种集成DFB半导体激光器,其特征在于,从激光器一半腔长处沿腔长方向朝向激光器出光端面引出一分支圆弧状分支波导,且在激光器出光端面处所述分支圆弧状分支波导与直脊波导具有一间距,所述分支圆弧状分支波导与直脊波导之间形成有离子注入区域。
申请日期2019-05-06
专利号CN110048304A
专利状态申请中
申请号CN201910369459.1
公开(公告)号CN110048304A
IPC 分类号H01S5/12 | H01S5/22 | H01S5/10
专利代理人蔡学俊
代理机构福州元创专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55393
专题半导体激光器专利数据库
作者单位福建中科光芯光电科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
薛正群,吴林福生,杨重英,等. 一种集成DFB半导体激光器及其制备方法. CN110048304A[P]. 2019-07-23.
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