一种大孔径高光束质量微型激光器

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	一种大孔径高光束质量微型激光器
其他题名	一种大孔径高光束质量微型激光器
	张祥伟; 马群; 陈玉娇; 陶禹
	2019-04-02
专利权人	西安工业大学
公开日期	2019-04-02
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜和N面电极，所述P面电极、电流引导层和P面分布布拉格反射镜的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起，凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起横向尺寸直径为0.5~2μm。本发明激光器的种子源是通过工艺在芯片上直接制作而成的，因此保持了垂直腔面发射激光器体积紧凑的特点，本发明的激光器结构简单、设计合理，投入成本较低，加工制作方便，且体积微小，可以高度集成在激光设备中。
其他摘要	本发明涉及一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜和N面电极，所述P面电极、电流引导层和P面分布布拉格反射镜的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起，凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起横向尺寸直径为0.5~2μm。本发明激光器的种子源是通过工艺在芯片上直接制作而成的，因此保持了垂直腔面发射激光器体积紧凑的特点，本发明的激光器结构简单、设计合理，投入成本较低，加工制作方便，且体积微小，可以高度集成在激光设备中。
主权项	一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极（1）、电流引导层（2）、P面分布布拉格反射镜（3）、N面分布布拉格反射镜（8）和N面电极（11），其特征在于：所述P面电极（1）、电流引导层（2）和P面分布布拉格反射镜（3）的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起（12），凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起（12）横向尺寸直径为0.5~2μm。
申请日期	2018-11-29
专利号	CN109560460A
专利状态	申请中
申请号	CN201811441134.1
公开（公告）号	CN109560460A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/187
专利代理人	黄秦芳
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55119
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张祥伟,马群,陈玉娇,等. 一种大孔径高光束质量微型激光器. CN109560460A[P]. 2019-04-02.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109560460A.PDF（476KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文