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芯片的封装结构以及封装方法
其他题名芯片的封装结构以及封装方法
王之奇
2019-03-08
专利权人苏州晶方半导体科技股份有限公司
公开日期2019-03-08
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明技术方案公开了一种芯片封装结构以及封装方法,本发明技术方案中,将所述MEMS芯片、VCSEL芯片以及透光盖板同时固定在所述电路板上,所述透光盖板上具有反射结构,将反射结构集成在所述透光盖板上,无需单独设置反射结构,降低了封装结构的厚度。
其他摘要本发明技术方案公开了一种芯片封装结构以及封装方法,本发明技术方案中,将所述MEMS芯片、VCSEL芯片以及透光盖板同时固定在所述电路板上,所述透光盖板上具有反射结构,将反射结构集成在所述透光盖板上,无需单独设置反射结构,降低了封装结构的厚度。
主权项一种芯片的封装结构,其特征在于,所述封装结构包括: 电路板,所述电路板具有用于和外部电路连接的互联电路; 固定在所述电路板上的MEMS芯片、VCSEL芯片以及透光盖板;所述MEMS芯片与所述VCSEL芯片均与所述互联电路连接; 所述MEMS芯片具有相对的正面和背面,其正面具有振镜; 所述VCSEL芯片具有相对的正面和背面,其正面用于发射激光; 所述透光盖板朝向所述电路板的表面具有第一区域以及第二区域,所述第一区域用于出射激光,所述第二区域具有反射结构; 所述MEMS芯片的正面以及所述VCSEL芯片的正面均朝向所述透光盖板,所述VCSEL芯片发射的激光通过所述反射结构反射至所述振镜,通过所述振镜反射至第一区域,经过所述第一区域出射。
申请日期2018-10-30
专利号CN109437088A
专利状态申请中
申请号CN201811275274.6
公开(公告)号CN109437088A
IPC 分类号B81B7/00 | B81B7/02 | B81C1/00 | H01S5/00
专利代理人姚璐华 | 王宝筠
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55059
专题半导体激光器专利数据库
作者单位苏州晶方半导体科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
王之奇. 芯片的封装结构以及封装方法. CN109437088A[P]. 2019-03-08.
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CN109437088A.PDF(1215KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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