一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法

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	一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法
其他题名	一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法
	张祥伟; 马群; 陈玉娇; 陶禹
	2019-02-15
专利权人	西安工业大学
公开日期	2019-02-15
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法，激光器包括P面电极、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜、衬底层和N面电极，所述P面分布布拉格反射镜表面制作有亚波长的金属光栅，金属光栅与P面电极相连，金属光栅的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层表面为球面；衬底层朝向N面电极的一侧刻蚀有DOE层。本发明无需光束整形系统，只需要通过工艺设计以及利用器件本身的特性，即可输出平顶的偏振光，此激光器结构简单、体积紧凑微小，造价低廉，可以高度集成在某些设备中，具有非常重要的应用前景。
其他摘要	本发明涉及一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法，激光器包括P面电极、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜、衬底层和N面电极，所述P面分布布拉格反射镜表面制作有亚波长的金属光栅，金属光栅与P面电极相连，金属光栅的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层表面为球面；衬底层朝向N面电极的一侧刻蚀有DOE层。本发明无需光束整形系统，只需要通过工艺设计以及利用器件本身的特性，即可输出平顶的偏振光，此激光器结构简单、体积紧凑微小，造价低廉，可以高度集成在某些设备中，具有非常重要的应用前景。
主权项	一种输出均匀偏振光的微型激光器，包括P面电极（2）、P面分布布拉格反射镜（5）、N面分布布拉格反射镜（9）、衬底层（11）和N面电极（12），其特征在于：所述P面分布布拉格反射镜（4）表面制作有亚波长的金属光栅（1），金属光栅（1）与P面电极相连，金属光栅（1）的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层（11）表面为球面；衬底层（11）朝向N面电极（12）的一侧刻蚀有DOE层（13）。
申请日期	2018-11-29
专利号	CN109346922A
专利状态	申请中
申请号	CN201811441715.5
公开（公告）号	CN109346922A
IPC 分类号	H01S5/183
专利代理人	黄秦芳
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55005
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张祥伟,马群,陈玉娇,等. 一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法. CN109346922A[P]. 2019-02-15.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109346922A.PDF（342KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文