激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法

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	激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法
其他题名	激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法
	高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 闫丽荣; 江坤
	2019-02-01
专利权人	西安工业大学
公开日期	2019-02-01
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法，该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成，CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成，遮光筒内部进行黑化处理，积分球上设置有可移动的顶盖，待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品的正上方，激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧，积分球上设置有探测器。本发明装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息，而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。
其他摘要	本发明涉及一种激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法，该装置由积分球、积分球探测器、CCD成像组件、半导体激光器和陷光器组成，CCD成像组件由CCD相机、显微镜头和遮光筒组成，遮光筒内部进行黑化处理，积分球上设置有可移动的顶盖，待测样品夹设于样品座和积分球上顶盖相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品的正上方，激光器和陷光器对称设置于CCD相机的两侧，积分球上设置有探测器。本发明装置和方法克服现有技术存在的显微散射检测只能获取疵病的二维信息，而积分散射率测量检测耗时长、检测效率低的问题。
主权项	一种激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置，其特征在于：由积分球（6）、积分球探测器（5）、CCD成像组件、半导体激光器（1）和陷光器（11）组成，所述CCD成像组件由CCD相机（3）、显微镜头（4）和遮光筒（16）组成，遮光筒（16）内部进行黑化处理，积分球（6）上设置有可移动的顶盖（8），待测样品（7）夹设于样品座（13）和积分球（6）上顶盖（8）相对的外壁之间，CCD成像组件设置于待测样品（7）的正上方，激光器（1）和陷光器（11）对称设置于CCD相机的两侧，所述积分球（6）上设置有探测器（5）。
申请日期	2018-11-05
专利号	CN109297986A
专利状态	申请中
申请号	CN201811306723.9
公开（公告）号	CN109297986A
IPC 分类号	G01N21/95 \| G01N21/958 \| G01N21/47 \| G01N21/01 \| G01B11/00 \| G01B11/22
专利代理人	黄秦芳
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54982
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法. CN109297986A[P]. 2019-02-01.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109297986A.PDF（414KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文