高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法

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	高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法
其他题名	高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法
	高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 秦文罡; 韦瑶
	2019-02-01
专利权人	西安工业大学
公开日期	2019-02-01
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法，该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成，所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头，所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件，反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法，克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。
其他摘要	本发明涉及一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法，该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成，所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头，所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件，反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本发明的测量装置及测量方法，克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。
主权项	一种高反镜表面散射多参数分布表征测量装置，其特征在于：由半导体激光器（1）、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器（7）构成，所述CCD成像系统包括CCD相机（3）和显微镜头（4），所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒（2）和背向积分散射率测量组件（5），反射光路上设置有前向积分散射率测量组件（6）。
申请日期	2018-11-05
专利号	CN109297987A
专利状态	申请中
申请号	CN201811306738.5
公开（公告）号	CN109297987A
IPC 分类号	G01N21/95 \| G01N21/958 \| G01N21/47 \| G01N21/01
专利代理人	黄秦芳
代理机构	西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/54981
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 高反镜表面散射多参数分布表征测量装置及测量方法. CN109297987A[P]. 2019-02-01.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109297987A.PDF（345KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文