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半導体装置の組み立て方法及び組み立て装置
其他题名半導体装置の組み立て方法及び組み立て装置
古谷 章
1995-12-22
专利权人富士通株式会社
公开日期1995-12-22
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 装置コスト等を増加させることなく、レーザと受光素子のx,y,z,θ方向の位置合わせを容易に行うことができる半導体装置の組み立て方法及び組み立て装置を提供する。 【構成】 透明部材6を通して第1の部品7及び第2の部品1,5を観測し、第1の部品6と第2の部品1,5の位置関係が投射されるある平面内での、両者の直交2軸方向(x,y)及び回転方向θの位置関係を、所望の位置関係に合わせ込んだ後、第1の部品7と第2の部品1,5の前記平面内での直交2軸(x,y)方向及び回転方向θの位置関係を保持した状態で、透明部材6を第2の部品1,5に接するまで移動することにより、前記平面に対して垂直方向zでの第1の部品7と第2の部品1,5の位置関係を合わせ込む。
其他摘要目的:通过提供光接收元件和激光器之间的位置关系在垂直方向(Z)上匹配的结构,便于激光器和光接收元件在x,y,z和θ方向上的定位飞机组成:用于粘接光接收元件的UV粘合剂8施加在支架2上,并且光接收元件7通过真空吸盘暂时固定在透明真空吸盘6中,以保持与x方向的位置关系,激光器5和光接收元件7的θ和θ在保持状态下,透明真空吸盘6的石英玻璃6b移动到与激光器5的端面和位置接触的程度。激光器5和光接收元件7之间的关系通过使用诸如操纵机构的驱动装置在垂直方向(Z)上与平面匹配。之后,通过透明真空吸盘6的石英玻璃6a,6b向其施加紫外线,从而固定光接收元件7,并且当透明真空吸盘6的真空吸盘被切断时,定位在该范围内可以执行+或-5mum。
主权项-
申请日期1994-06-10
专利号JP1995335970A
专利状态失效
申请号JP1994128427
公开(公告)号JP1995335970A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人有我 軍一郎
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50894
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士通株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
古谷 章. 半導体装置の組み立て方法及び組み立て装置. JP1995335970A[P]. 1995-12-22.
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JP1995335970A.PDF(42KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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