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一种改进压焊结构的半导体激光器
其他题名一种改进压焊结构的半导体激光器
崔碧峰; 计伟; 陈京湘; 郭伟玲; 张松; 王晓玲
2013-08-21
专利权人北京工业大学
公开日期2013-08-21
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要一种改进压焊结构的半导体激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的外延片结构;且利用湿法腐蚀将外延片两侧腐蚀P型欧姆接触层到P型限制层,深度范围为:400nm-600nm,从而形成脊形台,在半导体激光器芯片背面脊形台两侧对应的的位置腐蚀出压焊点。本实用新型提供的压焊方法接触面积大,不损伤表面,压焊方便。
其他摘要一种改进压焊结构的半导体激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的外延片结构;且利用湿法腐蚀将外延片两侧腐蚀P型欧姆接触层到P型限制层,深度范围为:400nm-600nm,从而形成脊形台,在半导体激光器芯片背面脊形台两侧对应的的位置腐蚀出压焊点。本实用新型提供的压焊方法接触面积大,不损伤表面,压焊方便。
申请日期2012-12-24
专利号CN203150900U
专利状态授权
申请号CN201220721626.8
公开(公告)号CN203150900U
IPC 分类号H01S5/02
专利代理人刘萍
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50516
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
崔碧峰,计伟,陈京湘,等. 一种改进压焊结构的半导体激光器. CN203150900U[P]. 2013-08-21.
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CN203150900U.PDF(297KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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