Guides lithographically fabricated on semiconductor devices

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	Guides lithographically fabricated on semiconductor devices
其他题名	Guides lithographically fabricated on semiconductor devices
	COHEN, MITCHELL S.; CORDES, MICHAEL J.; CORDES, STEVEN A.; HOGAN, WILLIAM K.; JOHNSON, GLEN W.; KUCHTA, DANIEL M.; LACEY, DIANNE L.; SPEIDELL, JAMES L.; TREWHELLA, JEANNINE M.; ZINTER, JOSEPH P.
	2004-09-28
专利权人	GLOBALFOUNDRIES INC.
公开日期	2004-09-28
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A structure that includes a substrate, typically a semiconductor chip such as a VCSEL or photodetector chip, and a guide for aligning a signal conveying device, typically an optical fiber, to a transducer such as an optoelectronic device on the semiconductor chip. The guide is formed, in a preferred embodiment, by lithographically exposing and developing a thick layer of photoresist. The structure is assembled by placing and securing the signal conveying device into a cavity-like region of the guide.
其他摘要	其包括基板，通常是半导体芯片，例如VCSEL或光电检测器芯片，和用于将信号传送装置，通常是光纤，给换能器对准如在半导体芯片上的光电装置的导引件的结构。在优选实施例中，通过光刻曝光和显影厚的光致抗蚀剂层形成引导件。通过将信号传送装置放置并固定到引导件的腔状区域中来组装该结构。
申请日期	2000-01-07
专利号	US6798953
专利状态	授权
申请号	US09/479109
公开（公告）号	US6798953
IPC 分类号	G02B6/36 \| G02B6/42 \| G02B6/30
专利代理人	-
代理机构	FERENCE & ASSOCIATES
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50475
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	GLOBALFOUNDRIES INC.
推荐引用方式 GB/T 7714	COHEN, MITCHELL S.,CORDES, MICHAEL J.,CORDES, STEVEN A.,et al. Guides lithographically fabricated on semiconductor devices. US6798953[P]. 2004-09-28.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6798953.PDF（150KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文