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垂直諧振面發光雷射陣列
其他题名垂直諧振面發光雷射陣列
松原一平; 粉奈孝行; 岩田圭司
2017-02-01
专利权人村田製作所股份有限公司
公开日期2017-02-01
授权国家中国台湾
专利类型授权发明
摘要VCSEL雷射陣列(901),具備底基板(11)、在底基板(11)之表面側配置在行方向(y方向)之VCSEL元件列(101~105)、將VCSEL元件列(101~105)加以並聯之並聯配線(73,74)。VCSEL元件列(101~105)之各個,包含配置在列方向(x方向)之複數個VCSEL元件、複數條串聯配線(61)。複數條串聯配線(61),將複數個VCSEL元件中之在列方向相鄰之二個VCSEL元件之各個串聯於該二個VCSEL元件之順向一致之方向。在底基板(11)形成絕緣槽(91,92)。絕緣槽(91)使VCSEL元件列(101~105)彼此電氣絕緣。絕緣槽(92)使VCSEL元件彼此電氣絕緣。
其他摘要VCSEL雷射陣列(901),具備底基板(11)、在底基板(11)之表面側配置在行方向(y方向)之VCSEL元件列(101~105)、將VCSEL元件列(101~105)加以並聯之並聯配線(73,74)。VCSEL元件列(101~105)之各個,包含配置在列方向(x方向)之複數個VCSEL元件、複數條串聯配線(61)。複數條串聯配線(61),將複數個VCSEL元件中之在列方向相鄰之二個VCSEL元件之各個串聯於該二個VCSEL元件之順向一致之方向。在底基板(11)形成絕緣槽(91,92)。絕緣槽(91)使VCSEL元件列(101~105)彼此電氣絕緣。絕緣槽(92)使VCSEL元件彼此電氣絕緣。
申请日期2014-06-11
专利号TWI569026B
专利状态申请中
申请号TW103120152
公开(公告)号TWI569026B
IPC 分类号G01R31/28 | H01S5/02 | H01S5/183
专利代理人閻啟泰 | 林景郁
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/50293
专题半导体激光器专利数据库
作者单位村田製作所股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
松原一平,粉奈孝行,岩田圭司. 垂直諧振面發光雷射陣列. TWI569026B[P]. 2017-02-01.
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