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一种半导体芯片自对准摆片
其他题名一种半导体芯片自对准摆片
崔碧峰; 孔真真; 黄欣竹; 李莎; 房天啸; 郝帅
2019-10-08
专利权人北京工业大学
公开日期2019-10-08
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种半导体芯片自对准摆片,属于光电子技术领域,可应用于半导体发光器件芯片的摆放与对准。对准条沿硅片底座的表面纵向设置,在硅片底座上设置一系列相同的刻蚀槽,刻蚀槽沿硅片底座的表面横向设置;热沉摆放到硅片底座上,翻转板放置在热沉上。热沉的侧部边缘与放在刻蚀槽中的管芯侧部边缘对准。本发明结构更加简单、设计制作成本更加低廉低。整体器件简洁,无其他冗余的器件,整个装置的体积要远远小于常规的摆片夹具,这样整个器件就可以放置在氮气罩中操作,减少了腔面氧化现象,同时设备所用器件不含金属操作更加洁净。
其他摘要本发明公开了一种半导体芯片自对准摆片,属于光电子技术领域,可应用于半导体发光器件芯片的摆放与对准。对准条沿硅片底座的表面纵向设置,在硅片底座上设置一系列相同的刻蚀槽,刻蚀槽沿硅片底座的表面横向设置;热沉摆放到硅片底座上,翻转板放置在热沉上。热沉的侧部边缘与放在刻蚀槽中的管芯侧部边缘对准。本发明结构更加简单、设计制作成本更加低廉低。整体器件简洁,无其他冗余的器件,整个装置的体积要远远小于常规的摆片夹具,这样整个器件就可以放置在氮气罩中操作,减少了腔面氧化现象,同时设备所用器件不含金属操作更加洁净。
申请日期2017-09-12
专利号CN107681462B
专利状态授权
申请号CN201710818878
公开(公告)号CN107681462B
IPC 分类号H01S5/022
专利代理人沈波
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49510
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
崔碧峰,孔真真,黄欣竹,等. 一种半导体芯片自对准摆片. CN107681462B[P]. 2019-10-08.
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