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一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法
其他题名一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法
王新强; 王钇心; 刘双龙; 荣新; 王平; 秦志新; 童玉珍; 许福军; 沈波
2019-05-14
专利权人北京大学
公开日期2019-05-14
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区,势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金,可以提高载流子局域化,抑制非辐射复合过程,进而提高内量子效率;利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜,形成具有凹面的网格状反射层,可增强紫外光的反射,提高光提取效率;电子束泵浦源采用场发射电子束,场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化;同时,电子束泵浦源均配有金属栅极,更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。
其他摘要本发明公开了一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法。本发明的外延层的多量子阱作为有源区,势阱采用单原子层或亚原子层的数字合金,可以提高载流子局域化,抑制非辐射复合过程,进而提高内量子效率;利用周期性网格状划痕并蒸镀高反射金属薄膜,形成具有凹面的网格状反射层,可增强紫外光的反射,提高光提取效率;电子束泵浦源采用场发射电子束,场发射电子束的小型化和成本低廉使其易于商业化;同时,电子束泵浦源均配有金属栅极,更易于阴极加速的电流的控制、可有效解决发射电子均匀性。
申请日期2016-04-20
专利号CN105846310B
专利状态授权
申请号CN201610246740.2
公开(公告)号CN105846310B
IPC 分类号H01S5/04 | H01S5/028 | H01S5/34 | H01S5/343
专利代理人王岩
代理机构北京万象新悦知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49386
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京大学
推荐引用方式
GB/T 7714
王新强,王钇心,刘双龙,等. 一种出光增强型电子束泵浦紫外光源及其制备方法. CN105846310B[P]. 2019-05-14.
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