Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
使用纵横比俘获生长的硅上激光器结构 | |
其他题名 | 使用纵横比俘获生长的硅上激光器结构 |
郑政玮; E·里欧班端; 李宁![]() | |
2019-04-19 | |
专利权人 | 国际商业机器公司 |
公开日期 | 2019-04-19 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | 一种使用纵横比俘获(ART)生长在硅上形成激光器的方法。方法可以包括:在衬底上形成第一绝缘体层;在第一绝缘体层中刻蚀沟槽从而暴露衬底的顶表面;使用ART生长在沟槽中形成缓冲层;在缓冲层上形成激光器,激光器包括至少一个活性区域以及顶部包覆层;以及形成在顶部包覆层上的顶部接触以及在衬底上的底部接触。 |
其他摘要 | 一种使用纵横比俘获(ART)生长在硅上形成激光器的方法。方法可以包括:在衬底上形成第一绝缘体层;在第一绝缘体层中刻蚀沟槽从而暴露衬底的顶表面;使用ART生长在沟槽中形成缓冲层;在缓冲层上形成激光器,激光器包括至少一个活性区域以及顶部包覆层;以及形成在顶部包覆层上的顶部接触以及在衬底上的底部接触。 |
申请日期 | 2016-03-29 |
专利号 | CN106025799B |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN20161018875X |
公开(公告)号 | CN106025799B |
IPC 分类号 | H01S5/323 |
专利代理人 | 酆迅 | 张宁 |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49381 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 国际商业机器公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑政玮,E·里欧班端,李宁,等. 使用纵横比俘获生长的硅上激光器结构. CN106025799B[P]. 2019-04-19. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN106025799B.PDF(1419KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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