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一种氧化型垂直腔面激光器
其他题名一种氧化型垂直腔面激光器
姜勋财; 汤宝; 朱拓; 余兵; 吴振华
2019-04-09
专利权人武汉电信器件有限公司
公开日期2019-04-09
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型属于光电子技术领域,公开了一种氧化型垂直腔面激光器,从下至上依次包括:N面电极、衬底、N型DBR、有源区、氧化限制层、P型DBR、P面电极;所述P型DBR为柱状台面,所述台面的中心设有氧化孔,所述台面包含有豁口,多个所述豁口环绕所述氧化孔均匀分布。本实用新型解决了现有技术中侧氧化后绝缘层的边缘的电流密度比中心区域高的问题,达到了缩减氧化深度,提高氧化精确度、节约氧化成本的技术效果。
其他摘要本实用新型属于光电子技术领域,公开了一种氧化型垂直腔面激光器,从下至上依次包括:N面电极、衬底、N型DBR、有源区、氧化限制层、P型DBR、P面电极;所述P型DBR为柱状台面,所述台面的中心设有氧化孔,所述台面包含有豁口,多个所述豁口环绕所述氧化孔均匀分布。本实用新型解决了现有技术中侧氧化后绝缘层的边缘的电流密度比中心区域高的问题,达到了缩减氧化深度,提高氧化精确度、节约氧化成本的技术效果。
申请日期2018-09-11
专利号CN208723310U
专利状态授权
申请号CN201821479837.9
公开(公告)号CN208723310U
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/187
专利代理人胡琦旖
代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49377
专题半导体激光器专利数据库
作者单位武汉电信器件有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
姜勋财,汤宝,朱拓,等. 一种氧化型垂直腔面激光器. CN208723310U[P]. 2019-04-09.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN208723310U.PDF(461KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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