Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器 | |
| 其他题名 | 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器 |
| 崔碧峰; 计伟; 陈京湘; 郭伟玲; 张松; 王晓玲 | |
| 2014-11-26 | |
| 专利权人 | 北京工业大学 |
| 公开日期 | 2014-11-26 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 授权发明 |
| 摘要 | 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器，属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构；同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极，其中光栅结构生长在脊形台上，制作过程采用光刻工艺；划片后，将芯片烧结在铜热沉上，封装固定在散热基座上。此结构中脊形台上光栅结构的引入抑制了注入到有源层载流子的侧向扩散，提高有源区载流子分布的均匀性，从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。 |
| 其他摘要 | 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器，属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构；同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极，其中光栅结构生长在脊形台上，制作过程采用光刻工艺；划片后，将芯片烧结在铜热沉上，封装固定在散热基座上。此结构中脊形台上光栅结构的引入抑制了注入到有源层载流子的侧向扩散，提高有源区载流子分布的均匀性，从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。 |
| 申请日期 | 2012-03-09 |
| 专利号 | CN102545052B |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201210060694.9 |
| 公开（公告）号 | CN102545052B |
| IPC 分类号 | H01S5/22 |
| 专利代理人 | 刘萍 |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48674 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔碧峰,计伟,陈京湘,等. 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器. CN102545052B[P]. 2014-11-26. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN102545052B.PDF（416KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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