Vertical cavity surface emitting laser for high power single mode operation and method of fabrication

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	Vertical cavity surface emitting laser for high power single mode operation and method of fabrication
其他题名	Vertical cavity surface emitting laser for high power single mode operation and method of fabrication
	JIANG, WENBIN; HUANG, RONG-TING; LEBBY, MICHAEL S.
	2000-02-01
专利权人	FINISAR CORPORATION
公开日期	2000-02-01
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A VCSEL for high power single mode operation and method of fabrication including a substrate element, a first stack of distributed Bragg reflectors disposed on a surface of the substrate element, an active region lattice matched to a surface of the first stack of distributed Bragg reflectors, and a second stack of distributed Bragg reflectors lattice matched to a surface of the active region. The VCSEL structure includes an isolation layer formed on the second stack of distributed Bragg reflectors. The isolation layer is formed of a dielectric material or insulating semiconductor material having an index of refraction greater than the first and second stacks of distributed Bragg reflectors and thereby defining an anti-guiding VCSEL structure. An electrical contact is coupled to a surface of the second stack of distributed Bragg reflectors and an electrical contact is positioned a surface of the substrate element.
其他摘要	一种用于高功率单模操作的VCSEL及其制造方法，包括衬底元件，设置在衬底元件表面上的第一叠层布拉格反射器，与第一叠层布拉格反射器叠层表面匹配的有源区晶格，第二叠层分布式布拉格反射器晶格与有源区表面相匹配。 VCSEL结构包括形成在第二堆分布式布拉格反射器上的隔离层。隔离层由介电材料或绝缘半导体材料形成，其折射率大于第一和第二叠层布拉格反射器的堆叠，从而限定了反导VCSEL结构。电触点耦合到第二叠层布拉格反射器的表面，并且电触点位于基板元件的表面。
申请日期	1997-11-04
专利号	US6021147
专利状态	失效
申请号	US08/963623
公开（公告）号	US6021147
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/00 \| H01S5/20 \| H01S3/085
专利代理人	-
代理机构	PARSONS, EUGENE A. KOCH, WILLIAM E.
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48375
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	FINISAR CORPORATION
推荐引用方式 GB/T 7714	JIANG, WENBIN,HUANG, RONG-TING,LEBBY, MICHAEL S.. Vertical cavity surface emitting laser for high power single mode operation and method of fabrication. US6021147[P]. 2000-02-01.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6021147.PDF（70KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文