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具有InP衬底的光半导体装置
其他题名具有InP衬底的光半导体装置
岸野克巳; 野村一郎; 玉村好司; 中村均
2009-07-15
专利权人株式会社日立制作所
公开日期2009-07-15
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明针对通常情况下成为p型传导但载流子浓度仅得到小于1×1017cm-3的值这样的材料,提供得到大于等于1×1017cm-3的高p型载流子浓度的结构,进而,提供发光特性等特性良好、可靠性也高、长寿命的半导体光学元件和装置。作为解决方法,在InP衬底上作为在与InP衬底晶格匹配的主层Mg0.5Zn0.29Cd0.21Se层(10ML(原子层)厚度)之间插入ZnSe0.53Te0.47层(2ML)作为插入的特定层,通过以适度间隔插入单层的、大于等于1018cm-3的充分的载流子浓度这样的特定层,在以往仅得到小于1×1017cm-3这样的材料中全体结晶得到大于等于1×1017cm-3的充分的空穴浓度。
其他摘要本发明针对通常情况下成为p型传导但载流子浓度仅得到小于1×1017cm-3的值这样的材料,提供得到大于等于1×1017cm-3的高p型载流子浓度的结构,进而,提供发光特性等特性良好、可靠性也高、长寿命的半导体光学元件和装置。作为解决方法,在InP衬底上作为在与InP衬底晶格匹配的主层Mg0.5Zn0.29Cd0.21Se层(10ML(原子层)厚度)之间插入ZnSe0.53Te0.47层(2ML)作为插入的特定层,通过以适度间隔插入单层的、大于等于1018cm-3的充分的载流子浓度这样的特定层,在以往仅得到小于1×1017cm-3这样的材料中全体结晶得到大于等于1×1017cm-3的充分的空穴浓度。
申请日期2006-07-28
专利号CN100514774C
专利状态失效
申请号CN200610108927.2
公开(公告)号CN100514774C
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/347 | H01L33/00 | H01L31/0264 | H01L31/08 | H01L33/28
专利代理人钟晶
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48318
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社日立制作所
推荐引用方式
GB/T 7714
岸野克巳,野村一郎,玉村好司,等. 具有InP衬底的光半导体装置. CN100514774C[P]. 2009-07-15.
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CN100514774C.PDF(2372KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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