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砷化镓基5微米量子阱结构及其外延生长方法
其他题名砷化镓基5微米量子阱结构及其外延生长方法
牛智川; 倪海桥; 韩勤; 张石勇; 吴东海; 赵欢; 杨晓红; 彭红玲; 周志强; 熊永华; 吴荣汉
2008-04-16
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2008-04-16
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要一种砷化镓基5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。
其他摘要一种砷化镓基5微米量子阱结构,该结构为多层结构,其特征在于,包括:一GaAs过渡层;一第一GaAs势垒层,该第一GaAs势垒层制作在GaAs过渡层上;一第一GaNAs势垒层,该第一GaNAs势垒层制作在第一GaAs势垒层上;一GaInNAsSb量子阱层,该GaInNAsSb量子阱层制作在第一GaNAs势垒层上;一第二GaNAs势垒层,该第二GaNAs势垒层制作在GaInNAsSb量子阱层上;一第二GaAs势垒层,该第二GaAs势垒层制作在第二GaNAs势垒层上;一GaAs覆盖层,该GaAs覆盖层制作在第二GaAs势垒层上。
申请日期2005-10-20
专利号CN100382347C
专利状态失效
申请号CN200510086639.7
公开(公告)号CN100382347C
IPC 分类号H01L33/00 | H01S5/343 | H01L33/04
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48191
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
牛智川,倪海桥,韩勤,等. 砷化镓基5微米量子阱结构及其外延生长方法. CN100382347C[P]. 2008-04-16.
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