激光器阵列相干器及其制备方法

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	激光器阵列相干器及其制备方法
其他题名	激光器阵列相干器及其制备方法
	陈泳屹; 秦莉; 王立军; 宁永强; 刘云; 佟存柱
	2017-10-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2017-10-27
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	激光器阵列相干器及其制备方法属于激光相干耦合技术领域，目的在于解决现有技术存在的激光器阵列相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本发明由光子桥连接的二维衍射光子晶体组成的阵列，以及在最外围制备的光子反射器。激光器阵列相干器的制备方法，首先给出部件具体位置；其次，用光刻以及刻蚀方法制备光子桥和出光面；再次，通过刻蚀或生长技术制备二维衍射光子晶体，通过刻蚀方法制作光子反射器；最后，进行化学处理、或者制作保护层、或者制备电极、或者进行二次外延继续制备激光阵列芯片。本发明可以实现激光器阵列的发光单元之间的光子相互注入，从而实现光学相干。
其他摘要	激光器阵列相干器及其制备方法属于激光相干耦合技术领域，目的在于解决现有技术存在的激光器阵列相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本发明由光子桥连接的二维衍射光子晶体组成的阵列，以及在最外围制备的光子反射器。激光器阵列相干器的制备方法，首先给出部件具体位置；其次，用光刻以及刻蚀方法制备光子桥和出光面；再次，通过刻蚀或生长技术制备二维衍射光子晶体，通过刻蚀方法制作光子反射器；最后，进行化学处理、或者制作保护层、或者制备电极、或者进行二次外延继续制备激光阵列芯片。本发明可以实现激光器阵列的发光单元之间的光子相互注入，从而实现光学相干。
申请日期	2014-09-26
专利号	CN104393485B
专利状态	授权
申请号	CN201410508727.0
公开（公告）号	CN104393485B
IPC 分类号	H01S5/14 \| H01S5/40
专利代理人	南小平
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48013
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	陈泳屹,秦莉,王立军,等. 激光器阵列相干器及其制备方法. CN104393485B[P]. 2017-10-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN104393485B.PDF（293KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文