Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| テ-パカツプリング素子の製造方法 | |
| 其他题名 | テ-パカツプリング素子の製造方法 |
| 浜田 健; 渋谷 隆夫; 和田 優; 清水 裕一; 伊藤 国雄; 寺本 巖 | |
| 1996-03-13 | |
| 专利权人 | 松下電器産業株式会社 |
| 公开日期 | 1996-05-29 |
| 授权国家 | 日本 |
| 专利类型 | 授权发明 |
| 摘要 | PURPOSE:To obtain a taper coupling element having a gentle inclination of a tapered part by forming a GaAlAs clad layer, GaAs core layer and GaAlAs cap layer on a (100)GaAs substrate and etching chemically these layers down to the core layer from above the cap layer thereby forming a step. CONSTITUTION:The Ga0.5Al0.5As clad layer, the GaAs core layer 3 and the Ga0.3Al0.7As cap layer 4 are successively formed on the (100)GaAs substrate These layers are chemically etched down to the boundary face of the layer 3 and the layer 2 in the direction to form the step. After the cap layer 4 is removed by selective etching, the Ga0.95Al0.05As core layer 5 and the Ga0.5Al0.5As clad layer 6 are grown, by which the taper coupling element having the gentle inclination of the taper part is obtd. |
| 其他摘要 | 目的：通过在（100）GaAs衬底上形成GaAlAs包层，GaAs芯层和GaAlAs盖层，并从上方将这些层化学蚀刻到芯层，以获得具有锥形部分的平缓倾斜的锥形耦合元件。盖层从而形成台阶。组成：Ga0.5Al0.5As包层，GaAs核心层3和Ga0.3Al0.7As帽层4连续形成在（100）GaAs衬底1上。这些层被化学蚀刻到下面的边界面。层3和层2在方向上形成台阶。在通过选择性蚀刻去除盖层4之后，生长Ga0.95Al0.05As芯层5和Ga0.5Al0.5As包层6，由此锥形部分具有平缓倾斜的锥形连接元件。 |
| 申请日期 | 1984-08-01 |
| 专利号 | JP2502494B2 |
| 专利状态 | 失效 |
| 申请号 | JP1984161858 |
| 公开（公告）号 | JP2502494B2 |
| IPC 分类号 | G02B | H01S | G02B6/12 | G02B6/122 | G02B6/26 | H01S5/00 |
| 专利代理人 | 滝本 智之 (外1名) |
| 代理机构 | - |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47775 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 松下電器産業株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 浜田 健,渋谷 隆夫,和田 優,等. テ-パカツプリング素子の製造方法. JP2502494B2[P]. 1996-03-13. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| JP2502494B2.PDF（22KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [浜田 健]的文章 |
| [渋谷 隆夫]的文章 |
| [和田 優]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [浜田 健]的文章 |
| [渋谷 隆夫]的文章 |
| [和田 優]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [浜田 健]的文章 |
| [渋谷 隆夫]的文章 |
| [和田 優]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论