Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
Method of making semiconductor laser devices | |
其他题名 | Method of making semiconductor laser devices |
SHIMOYAMA, KENJI; GOTOH, HIDEKI | |
1992-09-08 | |
专利权人 | MITSUBISHI KASEI CORPORATION |
公开日期 | 1992-09-08 |
授权国家 | 美国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | Carrier injection layers are formed on an AlxGa1-x As clad layer of high resistance by embedding and re-growth with the use of crystal growth processes such as MO-VPE or MO-MBE where material supply sources are all provided by gas sources, whereby it is not required to mesa-etch embedding regions to a depth reaching a substrate. The formation of any separate blocking layer is dispensed with, any possible influence of the substrate is elminated, and the time constant is decreased by decreasing the inter-electrode capacity. |
其他摘要 | 通过使用诸如MO-VPE或MO-MBE的晶体生长工艺,通过嵌入和再生长在AlxGa1-x As包层上形成载流子注入层,其中材料供应源全部由气源提供,由此不需要将嵌入区域蚀刻到达到衬底的深度。省去任何单独的阻挡层的形成,消除衬底的任何可能的影响,并且通过降低电极间容量来降低时间常数。 |
申请日期 | 1990-06-29 |
专利号 | US5145807 |
专利状态 | 失效 |
申请号 | US07/545794 |
公开(公告)号 | US5145807 |
IPC 分类号 | H01S5/343 | H01S5/00 | H01S5/22 | H01S5/227 | H01S5/042 | H01L21/18 |
专利代理人 | - |
代理机构 | ARMSTRONG & KUBOVCIK |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47744 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | MITSUBISHI KASEI CORPORATION |
推荐引用方式 GB/T 7714 | SHIMOYAMA, KENJI,GOTOH, HIDEKI. Method of making semiconductor laser devices. US5145807[P]. 1992-09-08. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
US5145807.PDF(120KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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