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ストライプレーザダイオードおよびその製造方法
其他题名ストライプレーザダイオードおよびその製造方法
近藤 真人; 穴山 親志; 古谷 章; 菅野 真実; 堂面 恵; 棚橋 俊之; 関口 洋
1999-06-25
专利权人富士通株式会社
公开日期1999-09-06
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【目的】 電流狭窄効率の向上したストライプレーザダイオードをMOCVD法により形成するレーザダイオードの製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 レーザダイオードのクラッド層をInGaAlPのMOCVD成長で形成する場合に、ソースガスにMgのドーパントガスを混入し、結晶面の面方位によらず一様なドーパント濃度を達成する。またソースガスにZnとSeのドーパントガスを混入し、ストライプレーザダイオードのストライプ構造部分に電流が集中するようにドープレベルを設定する。
其他摘要目的:通过一种方法有效地构建输入激光二极管的驱动电流,其中,使用Mg作为P型掺杂剂,无论晶面如何,均匀地设定通过MOCVD法生长的包层的电阻率。组成:通过沉积包含In,Ga,Al和P的源气体,以包含第一条纹结构301a的方式,在半导体衬底上形成InGaAlP层305和309。第二条纹结构形成在InGaAlP层上,第二条纹结构通过对应于每个非等效表面的多个结晶学非等效表面构成第一条纹结构。在通过向含有In,Ga,Al和P的源气体中添加含Mg的源气体来生长InGaAlP层的同时,在构成第二条纹结构的晶体表面上均匀地进行P型掺杂操作。
申请日期1992-09-18
专利号JP2945546B2
专利状态失效
申请号JP1992250280
公开(公告)号JP2945546B2
IPC 分类号H01S5/22 | H01L | H01S | H01L21/205 | H01S5/00 | H01S3/18 | H01S3/18662
专利代理人伊東 忠彦
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47466
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士通株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
近藤 真人,穴山 親志,古谷 章,等. ストライプレーザダイオードおよびその製造方法. JP2945546B2[P]. 1999-06-25.
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JP2945546B2.PDF(318KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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