一种基于红外激光光谱的真空度检测系统

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	一种基于红外激光光谱的真空度检测系统
其他题名	一种基于红外激光光谱的真空度检测系统
	陈东; 贾兆丽; 王尹秀; 张玉钧; 高彦伟
	2015-09-02
专利权人	合肥工业大学
公开日期	2015-09-02
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了一种基于红外激光光谱的真空度检测系统，其特征是以近红外半导体激光器作为检测光源，半导体激光器控制模块将半导体激光器的输出中心波长调谐到水汽目标吸收谱线中心，以信号发生电路产生的锯齿波信号叠加在半导体激光器控制模块上使其输出波长在设定波长范围内周期性连续扫描，半导体激光器输出的激光束分束为检测光和参考光，检测光传输到外光路的发射探头，外光路是由处在对射位置上的发射探头和接收探头组成的检测光路，待测密封容器置于发射探头和接收探头之间，由信号采集处理模块对于检测光谱信号和同步干涉信号进行信号处理。本实用新型可以用于食品、医药工业真空密封容器真空度检测，以及实现快速检漏。
其他摘要	本实用新型公开了一种基于红外激光光谱的真空度检测系统，其特征是以近红外半导体激光器作为检测光源，半导体激光器控制模块将半导体激光器的输出中心波长调谐到水汽目标吸收谱线中心，以信号发生电路产生的锯齿波信号叠加在半导体激光器控制模块上使其输出波长在设定波长范围内周期性连续扫描，半导体激光器输出的激光束分束为检测光和参考光，检测光传输到外光路的发射探头，外光路是由处在对射位置上的发射探头和接收探头组成的检测光路，待测密封容器置于发射探头和接收探头之间，由信号采集处理模块对于检测光谱信号和同步干涉信号进行信号处理。本实用新型可以用于食品、医药工业真空密封容器真空度检测，以及实现快速检漏。
主权项	一种基于红外激光光谱的真空度检测系统，其特征是：以近红外半导体激光器(3)作为检测光源，半导体激光器控制模块(2)通过温度和电流控制将半导体激光器(3)的输出中心波长调谐到水汽目标吸收谱线中心，设置信号发生电路(22)，以所述信号发生电路(22)产生的锯齿波信号叠加在半导体激光器控制模块(2)上使其输出波长在设定波长范围内周期性连续扫描，半导体激光器(3)输出的激光束分束为检测光和参考光，所述检测光经光纤接口(6)通过单模光纤(7)传输到外光路的发射探头(8)，所述外光路是由处在对射位置上的发射探头(8)和接收探头(10)组成的检测光路，待测密封容器置于所述发射探头(8)和接收探头(10)之间；检测光在发射探头(8)内经准直透镜(9)准直后形成输出光，所述输出光经过待测密封容器后到达接收探头(10)，所述接收探头(10)内置有聚焦透镜(12)和光电探测器(11)，利用所述聚焦透镜(12)将光束聚焦到光电探测器(11)，所述光电探测器(11)的输出电信号经电缆(13)传输到主机箱(1)，并通过电缆接口(15)将电信号传送至第一低通滤波放大电路(16)，所述低通滤波放大电路(16)的输出信号由信号采集处理模块(20)进行数据采集作为检测光谱信号；所述参考光通过光纤耦合进入光纤干涉仪(5)，由光纤干涉仪(5)和光纤耦合光电探测器(14)构成系统参考光路，光纤干涉仪(5)中的输出光束由光纤耦合光电探测器(14)进行光电转换，由所述光纤耦合光电探测器(14)输出的电信号传送至第二低通滤波放大电路(23)，在所述第二低通滤波放大电路(23)中输出的滤波放大后信号由信号采集处理模块(20)进行数据采集作为同步干涉信号；由所述信号采集处理模块(20)对于所述检测光谱信号和同步干涉信号进行信号处理。
申请日期	2015-06-05
专利号	CN204612860U
专利状态	失效
申请号	CN20152038948X
公开（公告）号	CN204612860U
IPC 分类号	G01L21/00 \| G01M3/34 \| G01N21/39
专利代理人	何梅生
代理机构	安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46543
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	合肥工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	陈东,贾兆丽,王尹秀,等. 一种基于红外激光光谱的真空度检测系统. CN204612860U[P]. 2015-09-02.

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CN204612860U.PDF（502KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文