一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法

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	一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法
其他题名	一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法
	方国家; 黄晖辉; 莫小明; 龙浩
	2011-05-18
专利权人	常熟紫金知识产权服务有限公司
公开日期	2011-05-18
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明公开了一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法。该异质pn结二极管至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为镀有n型GaN的蓝宝石。其制备方法是首先用射频磁控溅射工艺在衬底上制备n型ZnO薄膜层；然后在n型ZnO薄膜层上溅射p型NiO薄膜层形成异质pn结；最后采用溅射法或热蒸发法制作pn结电极；NiO表面溅射金电极或铂电极或镍铂电极或ITO电极，在GaN或在ZnO边缘镀上铟电极或铝电极或金电极；电极通过后退火合金化形成欧姆接触。这种异质pn结二极管具有较好的电致紫外激射发光特性，发光峰值波长在375nm左右，且制备工艺简单、成本低廉。
其他摘要	本发明公开了一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法。该异质pn结二极管至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为镀有n型GaN的蓝宝石。其制备方法是首先用射频磁控溅射工艺在衬底上制备n型ZnO薄膜层；然后在n型ZnO薄膜层上溅射p型NiO薄膜层形成异质pn结；最后采用溅射法或热蒸发法制作pn结电极；NiO表面溅射金电极或铂电极或镍铂电极或ITO电极，在GaN或在ZnO边缘镀上铟电极或铝电极或金电极；电极通过后退火合金化形成欧姆接触。这种异质pn结二极管具有较好的电致紫外激射发光特性，发光峰值波长在375nm左右，且制备工艺简单、成本低廉。
主权项	一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管，至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，其特征在于：pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为生长在蓝宝石上的n型氮化镓；该异质pn结紫外激光二极管在电致激励作用下，发出波长在375±3纳米的紫外激光，线宽小于1纳米。
申请日期	2009-03-09
专利号	CN101505035B
专利状态	授权
申请号	CN200910061037
公开（公告）号	CN101505035B
IPC 分类号	C23C14/08 \| C23C14/26 \| C23C14/35 \| H01S5/327 \| H01L21/28 \| H01L21/203
专利代理人	刘荣
代理机构	武汉华旭知识产权事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45545
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	常熟紫金知识产权服务有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	方国家,黄晖辉,莫小明,等. 一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法. CN101505035B[P]. 2011-05-18.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101505035B.PDF（700KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文