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一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列
其他题名一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列
陈刚; 巩马理; 闫平; 黄磊; 李晨; 柳强; 张海涛; 崔瑞祯; 贾维溥
2007-02-07
专利权人清华大学
公开日期2007-02-07
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列,涉及一种可批量生产的低成本阵列二极管激光器二维准直微透镜阵列的结构设计。本发明的主要技术特点是在通用的一维准直光纤基础上通过离子溅射、光刻、腐蚀、激光等微加工方法在沿光纤方向上加工出另一曲面,即微透镜曲面阵列。由于本发明所要求的是一维加工,所以能够对一排准直光纤同时进行加工,因此,每根微透镜阵列的加工成本低廉,适合于大规模批量化生产。而且只采用一个微透镜阵列就可同时对阵列二极管激光器的快轴和慢轴两个方向上的不同发散角进行高精度二维准直,不存在附加的界面损耗,因此具有准直效率较高,加工成本低,光学装调方便等特点。
其他摘要一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列,涉及一种可批量生产的低成本阵列二极管激光器二维准直微透镜阵列的结构设计。本发明的主要技术特点是在通用的一维准直光纤基础上通过离子溅射、光刻、腐蚀、激光等微加工方法在沿光纤方向上加工出另一曲面,即微透镜曲面阵列。由于本发明所要求的是一维加工,所以能够对一排准直光纤同时进行加工,因此,每根微透镜阵列的加工成本低廉,适合于大规模批量化生产。而且只采用一个微透镜阵列就可同时对阵列二极管激光器的快轴和慢轴两个方向上的不同发散角进行高精度二维准直,不存在附加的界面损耗,因此具有准直效率较高,加工成本低,光学装调方便等特点。
主权项一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列,其特征在于:在通用的一维准直光纤的沿光纤光轴方向的一侧微加工有微透镜曲面阵列(2),另一侧保留原准直光纤的柱面,所述的微透镜曲面阵列的每一微透镜光轴与阵列二极管激光器(1)上相应的一个发光单元同光轴。
申请日期2005-01-07
专利号CN1299128C
专利状态失效
申请号CN200510011114.7
公开(公告)号CN1299128C
IPC 分类号G02B3/06 | H01S5/00 | G02B6/26 | G02B6/32 | G02B6/42
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45508
专题半导体激光器专利数据库
作者单位清华大学
推荐引用方式
GB/T 7714
陈刚,巩马理,闫平,等. 一种用于阵列二极管激光器的二维准直微透镜阵列. CN1299128C[P]. 2007-02-07.
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CN1299128C.PDF(223KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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