非接触式激光调频光纤位移测量仪

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	非接触式激光调频光纤位移测量仪
其他题名	非接触式激光调频光纤位移测量仪
	田芊; 徐左; 李达成; 谢巍
	1991-07-24
专利权人	清华大学
公开日期	1991-07-24
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量，测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。
其他摘要	一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量，测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。
主权项	一种非接触式激光调频光纤位移测量仪由半导体激光器、激光调频电源、耦合透镜、光纤、光纤定向耦合器、光电探测器等部件所组成，其特征在于还包括光纤测头，相位检测器，由所说的激光调频电源，对所说的半导体激光器进行调制，发出一束调频的激光，经所说的耦合透镜进入光纤，再由所说的光纤定向耦合器分成探测光和解调参考光，所说的探测光的一部分从所说的光纤测头端面射出，出射光射到被测物上被测物上被反射回该测头，所说探测光的另一部分直接从所说的光纤测头端面反射，这两部分光形成干涉，并有一个被测距离为1的光程差由所说的光电探测器接收，再送入相位检测器检测。
申请日期	1988-11-03
专利号	CN1013304B
专利状态	失效
申请号	CN88107425.X
公开（公告）号	CN1013304B
IPC 分类号	G01B11/02
专利代理人	廖元秋
代理机构	清华大学专利事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45188
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	田芊,徐左,李达成,等. 非接触式激光调频光纤位移测量仪. CN1013304B[P]. 1991-07-24.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1013304B.PDF（248KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文