薄膜检测光学传感器

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	薄膜检测光学传感器
其他题名	薄膜检测光学传感器
	林晓春
	2009-01-14
专利权人	西安电子科技大学
公开日期	2009-01-14
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明公开了一种光学传感器。该光学传感器主要由泵浦二极管激光器、斩波器、分光棱镜组成，其中，第一泵浦二极管激光器(1)和第二泵浦二极管激光器(2)输出不同频率的两束激光，通过斩波器(3)的调制输出一束激光，这一束激光通过分光棱镜(4)照射到二元光栅分束器(5)上形成二维光束阵列，经薄膜样品(6)反射在CCD焦平面(7)上成像，显示出反射光束阵列的光点位置分布信息和每个点光强的变化信息，通过计算该光强的变化信息得出薄膜生长率，利用光束偏移信息和Stoney方程解算出薄膜应力，根据Brunner提出入射光真空波长λ0和铝组分x的函数的模型估计材料组分。本发明可实现薄膜生长过程中的在线测量，可用于半导体材料和器件的制作领域。
其他摘要	本发明公开了一种光学传感器。该光学传感器主要由泵浦二极管激光器、斩波器、分光棱镜组成，其中，第一泵浦二极管激光器(1)和第二泵浦二极管激光器(2)输出不同频率的两束激光，通过斩波器(3)的调制输出一束激光，这一束激光通过分光棱镜(4)照射到二元光栅分束器(5)上形成二维光束阵列，经薄膜样品(6)反射在CCD焦平面(7)上成像，显示出反射光束阵列的光点位置分布信息和每个点光强的变化信息，通过计算该光强的变化信息得出薄膜生长率，利用光束偏移信息和Stoney方程解算出薄膜应力，根据Brunner提出入射光真空波长λ0和铝组分x的函数的模型估计材料组分。本发明可实现薄膜生长过程中的在线测量，可用于半导体材料和器件的制作领域。
主权项	一种检测薄膜生长率和应力的光学传感器，包括泵浦二极管激光器、斩波器、分光棱镜和DSP处理器系统(8)，其特征在于，第一泵浦二极管激光器(1)和第二泵浦二极管激光器(2)输出不同频率的两束激光，通过斩波器(3)的调制输出一束激光，这一束激光通过分光棱镜(4)照射到二元光栅分束器(5)上形成二维光束阵列，该光束阵列经薄膜样品(6)反射在CCD焦平面(7)上成像，显示出反射光束阵列的光点位置分布信息和每个点光强的变化信息，这些信息通过DSP处理器系统(8)进行模数转换成数字信息后送入PC机进行软件运行，用图像上的光点位置分布信息测试出薄膜的应力，用图像的光电灰度信息测试出薄膜生长率和折射率，得到薄膜化学组分。
申请日期	2006-03-30
专利号	CN100451608C
专利状态	失效
申请号	CN200610041993
公开（公告）号	CN100451608C
IPC 分类号	G01N21/00 \| G01L1/24 \| G06F19/00
专利代理人	王品华 \| 黎汉华
代理机构	陕西电子工业专利中心
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44784
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安电子科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	林晓春. 薄膜检测光学传感器. CN100451608C[P]. 2009-01-14.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN100451608C.PDF（610KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文