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Liquid phase epitaxial device
其他题名Liquid phase epitaxial device
YAMADA TOSHIYUKI
专利权人SONY CORP
公开日期1977-05-10
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To make it possible to select sequentially different type solution with covering substrate by solution constantly by the combination of vessel which contains solution and substrate supporter which have specified structure.
其他摘要目的:通过含有溶液的容器和具有特定结构的基质支持物的组合,可以通过溶液不断地选择不同类型的溶液和覆盖基质。
申请日期1975-11-05
专利号JP1977056855A
专利状态失效
申请号JP1975132670
公开(公告)号JP1977056855A
IPC 分类号C30B19/06 | H01L21/208 | H01S5/00 | B01J17/20 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43796
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SONY CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
YAMADA TOSHIYUKI. Liquid phase epitaxial device. JP1977056855A.
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JP1977056855A.PDF(177KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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