Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 用于集成激光二极管/光子芯片接口的抗反射结构 | |
| 其他题名 | 用于集成激光二极管/光子芯片接口的抗反射结构 |
| K·萨亚赫; P·R·帕特森; B·黄 | |
| 专利权人 | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 公开日期 | 2019-01-25 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 一种制造LIDAR芯片并且将抗反射(AR)涂层应用于LIDAR芯片的耦合结构的方法。耦合结构形成在晶片上。在与耦合结构相邻的晶片中形成凹坑。AR材料沉积在晶片和耦合结构的顶部上。蚀刻AR材料以在耦合结构上形成AR涂层。 |
| 其他摘要 | 一种制造LIDAR芯片并且将抗反射(AR)涂层应用于LIDAR芯片的耦合结构的方法。耦合结构形成在晶片上。在与耦合结构相邻的晶片中形成凹坑。AR材料沉积在晶片和耦合结构的顶部上。蚀刻AR材料以在耦合结构上形成AR涂层。 |
| 申请日期 | 2018-07-12 |
| 专利号 | CN109270601A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201810765959.2 |
| 公开（公告）号 | CN109270601A |
| IPC 分类号 | G02B1/11 |
| 专利代理人 | 任霄 | 王丽辉 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43388 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | K·萨亚赫,P·R·帕特森,B·黄. 用于集成激光二极管/光子芯片接口的抗反射结构. CN109270601A. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN109270601A.PDF（678KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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