一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器

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	一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器
其他题名	一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器
	叶国永; 刘红忠; 许正宸; 雷彪; 刘晓辉
专利权人	西安交通大学
公开日期	2019-01-04
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器，包括传感器本体，所述传感器本体内含有激光二极管的准直模块、衍射光栅、光阑、滤光片、成像透镜和CMOS线性图像传感器。该激光位移传感器的激光二极管准直模块发出准直光束，光束经过被测物表面漫反射，通过光阑和成像透镜之后，经过特制的透射式衍射光栅将光斑分束成多个衍射光斑，分别利用各个衍射光斑反求被测物的位移，通过将解算的多个位移数据进行平均或取中位值处理，即可获得被测物的实际位移。此发明与传统激光三角测距传感器相比，在测量一次位移的情况下，利用多个衍射光斑的信息解算被测物位移，减小了噪声等环境因素的影响，从而有效提高测量数据的稳定性。
其他摘要	本发明公开了一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器，包括传感器本体，所述传感器本体内含有激光二极管的准直模块、衍射光栅、光阑、滤光片、成像透镜和CMOS线性图像传感器。该激光位移传感器的激光二极管准直模块发出准直光束，光束经过被测物表面漫反射，通过光阑和成像透镜之后，经过特制的透射式衍射光栅将光斑分束成多个衍射光斑，分别利用各个衍射光斑反求被测物的位移，通过将解算的多个位移数据进行平均或取中位值处理，即可获得被测物的实际位移。此发明与传统激光三角测距传感器相比，在测量一次位移的情况下，利用多个衍射光斑的信息解算被测物位移，减小了噪声等环境因素的影响，从而有效提高测量数据的稳定性。
申请日期	2018-10-15
专利号	CN109141254A
专利状态	申请中
申请号	CN201811199026.8
公开（公告）号	CN109141254A
IPC 分类号	G01B11/02
专利代理人	段俊涛
代理机构	西安智大知识产权代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43329
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	叶国永,刘红忠,许正宸,等. 一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器. CN109141254A.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109141254A.PDF（360KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文