Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法 | |
其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法 |
张建伟; 宁永强; 张星; 朱洪波; 曾玉刚; 张继业; 梁磊; 吴昊; 王立军 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2018-12-28 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法,激光器阵列包括衬底、第一周期性层叠镜面结构、发光层和第二周期性层叠镜面结构,由所述第二周期性层叠镜面结构形成若干以阵列形式排布的呈台状的出光单元;在所述出光单元上设置有用于调控出射光的透镜,若干所述出光单元至少包括对应出光单元设置的透镜中心轴与该出光单元中心轴不重合的出光单元。对应出光单元制作的透镜能够偏转出光单元的出光方向,能够实现调控垂直腔面激光器阵列输出激光的出光方向。 |
其他摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法,激光器阵列包括衬底、第一周期性层叠镜面结构、发光层和第二周期性层叠镜面结构,由所述第二周期性层叠镜面结构形成若干以阵列形式排布的呈台状的出光单元;在所述出光单元上设置有用于调控出射光的透镜,若干所述出光单元至少包括对应出光单元设置的透镜中心轴与该出光单元中心轴不重合的出光单元。对应出光单元制作的透镜能够偏转出光单元的出光方向,能够实现调控垂直腔面激光器阵列输出激光的出光方向。 |
申请日期 | 2018-09-28 |
专利号 | CN109103748A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201811139845.3 |
公开(公告)号 | CN109103748A |
IPC 分类号 | H01S5/40 | H01S5/42 | H01S5/183 | H01S5/022 |
专利代理人 | 罗满 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43305 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张建伟,宁永强,张星,等. 一种垂直腔面发射激光器阵列及其制作方法. CN109103748A. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN109103748A.PDF(788KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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