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一种提高半导体激光器成品率的方法
其他题名一种提高半导体激光器成品率的方法
李明; 徐顺川; 林雪枫
2007-07-11
专利权人武汉电信器件有限公司
公开日期2007-07-11
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明公开了一种提高半导体激光器成品率的方法,涉及一种对半导体激光器封装工艺的改进。本发明是将已经完成其它封装工序但还未封盖的激光器组件放入一个导热性能良好的密封容器中进行高低温循环,待残余应力释放完全后,对光功率发生变化的组件采用激光敲打等技术对耦合焊接的支架进行细微的调整,使其光功率恢复到高低温循环之前的水平,并且再次经过高低温循环,功率无变化后才将激光器组件进行封盖、老化筛选、测试、包装,最后得到一种高可靠性、高成品率的半导体激光器。本发明将激光器组件在封装过程的带来的应力进一步释放完全,提高器件的可靠性与成品率;同时避免材料与工时的浪费,有利于节省成本。
其他摘要本发明公开了一种提高半导体激光器成品率的方法,涉及一种对半导体激光器封装工艺的改进。本发明是将已经完成其它封装工序但还未封盖的激光器组件放入一个导热性能良好的密封容器中进行高低温循环,待残余应力释放完全后,对光功率发生变化的组件采用激光敲打等技术对耦合焊接的支架进行细微的调整,使其光功率恢复到高低温循环之前的水平,并且再次经过高低温循环,功率无变化后才将激光器组件进行封盖、老化筛选、测试、包装,最后得到一种高可靠性、高成品率的半导体激光器。本发明将激光器组件在封装过程的带来的应力进一步释放完全,提高器件的可靠性与成品率;同时避免材料与工时的浪费,有利于节省成本。
授权日期2007-07-11
申请日期2005-06-29
专利号CN1326298C
专利状态授权
申请号CN200510019010.0
公开(公告)号CN1326298C
IPC 分类号H01S5/022 | H01S5/00
专利代理人黄瑞棠
代理机构武汉宇晨专利事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43072
专题半导体激光器专利数据库
作者单位武汉电信器件有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
李明,徐顺川,林雪枫. 一种提高半导体激光器成品率的方法. CN1326298C[P]. 2007-07-11.
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