硅片对准系统

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	硅片对准系统
其他题名	硅片对准系统
	孙刚; 朱健
	2010-12-29
专利权人	上海微电子装备(集团)股份有限公司
公开日期	2010-12-29
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明提供一种硅片对准系统，所述硅片对准系统包括照明光源系统、对准成像单元、采样模块以及硅片运动控制单元，所述照明光源系统为对准成像单元提供照明光源；所述对准成像单元为硅片对准提供准直的对准光束，并采集在所述硅片表面上反射形成的各级反射光强信号给所述采样模块；所述采样模块将各级反射光强信号转换为电信号，并进行处理得出硅片的位置信号；所述硅片运动控制单元用以控制硅片标记在对准光束下进行扫描运动，所述照明光源系统提供的照明光源为单波长的激光。本发明的硅片对准系统采用半导体激光器发射单波长光，降低了硅片对准系统的设计难度，也减小了激光器自身尺寸和重量，从而降低了光学模块设计的难度。
其他摘要	本发明提供一种硅片对准系统，所述硅片对准系统包括照明光源系统、对准成像单元、采样模块以及硅片运动控制单元，所述照明光源系统为对准成像单元提供照明光源；所述对准成像单元为硅片对准提供准直的对准光束，并采集在所述硅片表面上反射形成的各级反射光强信号给所述采样模块；所述采样模块将各级反射光强信号转换为电信号，并进行处理得出硅片的位置信号；所述硅片运动控制单元用以控制硅片标记在对准光束下进行扫描运动，所述照明光源系统提供的照明光源为单波长的激光。本发明的硅片对准系统采用半导体激光器发射单波长光，降低了硅片对准系统的设计难度，也减小了激光器自身尺寸和重量，从而降低了光学模块设计的难度。
授权日期	2010-12-29
申请日期	2009-03-04
专利号	CN101487991B
专利状态	授权
申请号	CN200910047027.5
公开（公告）号	CN101487991B
IPC 分类号	G03F7/20 \| G03F9/00
专利代理人	屈蘅 \| 李时云
代理机构	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42963
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	上海微电子装备(集团)股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	孙刚,朱健. 硅片对准系统. CN101487991B[P]. 2010-12-29.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101487991B.PDF（445KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文