一种高速控制压电扫描装置

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	一种高速控制压电扫描装置
其他题名	一种高速控制压电扫描装置
	吴鑫; 陈四海; 熊小刚; 石本义; 陈巍
	2010-09-01
专利权人	华中科技大学
公开日期	2010-09-01
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了一种高速控制压电扫描装置，其结构为：半导体激光器固定于主固定座上，主反射镜片粘结在弹性铰链支架上，弹性铰链支架栓接在两个椭圆型弹性外框上，压电致动器内嵌于椭圆型弹性外框内部，椭圆型弹性外框栓接在主固定座上。增程反射镜粘结在增程反射镜固定凹形平板的凹型腔内，通过不对称的工字型梁栓接在U型固定支架腔内，U型固定支架固定于主固定座下方，位敏探测器固定于U型固定支架导轨内。给两个压电致动器施加互为反向的驱动电压，椭圆型弹性外框将压电致动器伸缩方向的位移转化为放大后的垂直于伸缩方向的位移，使弹性铰链支架转动，驱动电压大小决定反射镜偏转角度。扫描器通过反射镜偏转角度实时探测系统，可实现主反射镜偏转角度的闭环反馈控制。
其他摘要	本实用新型公开了一种高速控制压电扫描装置，其结构为：半导体激光器固定于主固定座上，主反射镜片粘结在弹性铰链支架上，弹性铰链支架栓接在两个椭圆型弹性外框上，压电致动器内嵌于椭圆型弹性外框内部，椭圆型弹性外框栓接在主固定座上。增程反射镜粘结在增程反射镜固定凹形平板的凹型腔内，通过不对称的工字型梁栓接在U型固定支架腔内，U型固定支架固定于主固定座下方，位敏探测器固定于U型固定支架导轨内。给两个压电致动器施加互为反向的驱动电压，椭圆型弹性外框将压电致动器伸缩方向的位移转化为放大后的垂直于伸缩方向的位移，使弹性铰链支架转动，驱动电压大小决定反射镜偏转角度。扫描器通过反射镜偏转角度实时探测系统，可实现主反射镜偏转角度的闭环反馈控制。
授权日期	2010-09-01
申请日期	2009-12-18
专利号	CN201569787U
专利状态	授权
申请号	CN200920289347.7
公开（公告）号	CN201569787U
IPC 分类号	G02B26/10 \| G02B7/198
专利代理人	曹葆青
代理机构	华中科技大学专利中心
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42886
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	华中科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	吴鑫,陈四海,熊小刚,等. 一种高速控制压电扫描装置. CN201569787U[P]. 2010-09-01.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN201569787U.PDF（403KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文