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多工位激光器芯片组件装载平台
其他题名多工位激光器芯片组件装载平台
胡海; 王泰山; 李成鹏; 刘文斌; 方继林
2016-11-23
专利权人深圳清华大学研究院
公开日期2016-11-23
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型提供一种多工位激光器芯片组件装载平台,该多工位激光器芯片组件装载平台包括定位散热单元和给电单元,其中定位散热单元用于夹紧COS封装型的半导体激光芯片,并在测试时对半导体激光芯片进行液冷式散热;给电单元用于装夹探针模块并以弹性升降方式使探针模块与半导体激光芯片接触进而进行测试。本实用新型提供的多工位激光器芯片组件装载平台可以进行大规模生产测试、可以较好保证探针与半导体激光芯片的相对位置并且不易对芯片产生损伤。
其他摘要本实用新型提供一种多工位激光器芯片组件装载平台,该多工位激光器芯片组件装载平台包括定位散热单元和给电单元,其中定位散热单元用于夹紧COS封装型的半导体激光芯片,并在测试时对半导体激光芯片进行液冷式散热;给电单元用于装夹探针模块并以弹性升降方式使探针模块与半导体激光芯片接触进而进行测试。本实用新型提供的多工位激光器芯片组件装载平台可以进行大规模生产测试、可以较好保证探针与半导体激光芯片的相对位置并且不易对芯片产生损伤。
授权日期2016-11-23
申请日期2016-04-07
专利号CN205720553U
专利状态授权
申请号CN201620284895.0
公开(公告)号CN205720553U
IPC 分类号G01R31/28
专利代理人何青瓦
代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42816
专题半导体激光器专利数据库
作者单位深圳清华大学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
胡海,王泰山,李成鹏,等. 多工位激光器芯片组件装载平台. CN205720553U[P]. 2016-11-23.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN205720553U.PDF(198KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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