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Process for producing a matrix of "all optical" vertically-structured quantum well components
其他题名Process for producing a matrix of "all optical" vertically-structured quantum well components
NISSIM, YVES; BENSOUSSAN, MARCEL; OUDAR, JEAN-LOUIS; RAO, ELCHURI
1998-02-03
专利权人FRANCE TELECOM
公开日期1998-02-03
授权国家美国
专利类型授权发明
摘要This invention relates to a process for producing a matrix of "all optical" vertically-structured quantum well components. This process consists in the encapsulation of a half-structure constituted by a lower mirror (2) and an active zone (3) partially covered by a self-alignment mask (4) with a negative dielectric layer (7) whose thickness is given by the Bragg condition at the working wavelength. The encapsulated half-structure is thermally treated to induce an alloy interdiffusion (9) in the non-covered parts of the active zone, and covered with one or several negative and positive layers (10,11) so as to complete the upper Bragg mirror.
其他摘要本发明涉及制备“全光学”垂直结构量子阱组分基质的方法。该过程包括由下部镜子(2)和由自对准掩模(4)部分覆盖的有源区域(3)构成的半结构的封装,其中负性介电层(7)的厚度由下式给出:工作波长下的布拉格条件。对封装的半结构进行热处理,以在有源区的未覆盖部分中诱导合金相互扩散(9),并覆盖一个或多个负极层和正极层(10,11),以完成上部布拉格反射镜。
授权日期1998-02-03
申请日期1995-06-22
专利号US5714403
专利状态失效
申请号US08/492951
公开(公告)号US5714403
IPC 分类号G02F3/02 | G02F3/00 | G02F1/017 | G02F1/01 | G02F1/21 | G02F1/35 | H01S3/10 | H01S5/00 | H01L21/20
专利代理人-
代理机构BLAKELY SOKOLOFF TAYLOR & ZAFMAN
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42369
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FRANCE TELECOM
推荐引用方式
GB/T 7714
NISSIM, YVES,BENSOUSSAN, MARCEL,OUDAR, JEAN-LOUIS,et al. Process for producing a matrix of "all optical" vertically-structured quantum well components. US5714403[P]. 1998-02-03.
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