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光変調器集積半導体レーザ及びその製造方法
其他题名光変調器集積半導体レーザ及びその製造方法
奥田 哲朗
2001-12-28
专利权人日本電気株式会社
公开日期2002-03-11
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【課題】 光変調器集積半導体レーザにおいて、波長チャープを低減し、かつ素子の均一性及び再現性を改善する。 【解決手段】 選択成長により一括して光導波路3を形成する光変調器集積半導体レーザにおいて、レーザ部10と変調器部11の境界に、バンドギャップ及び膜厚がテーパー状に変化する光導波路3の遷移領域9を形成する。この遷移領域9をDFBレーザ部10に含め、活性領域とする。これにより、変調器部11からの反射戻り光に起因する波長チャープが低減される。また、遷移領域9をテーパ状に形成することにより、素子特性の均一性及び再現性が改善される。
其他摘要要解决的问题:在光模块化集成半导体激光器中,在降低波长啁啾的同时提高元件的均匀性和可重复性。解决方案:在光调制器集成半导体激光器中,其中光波导3通过选择性生长共同形成,光波导3的过渡区域9形成在其间的边界处,其中带隙和膜厚度以锥形方式变化。激光器部分10和调制器部分1DFB激光器部分20包含过渡区域9,用作有源区域。结果,减少了来自调制器部分11的反射返回光引起的波长啁啾。此外,通过以锥形方式形成过渡区域9,改善了元件特性的均匀性和再现性。
授权日期2001-12-28
申请日期1999-02-05
专利号JP3264369B2
专利状态失效
申请号JP1999028407
公开(公告)号JP3264369B2
IPC 分类号H01L | H01S | H01L27/15 | H01S5/026 | H01S5/00
专利代理人稲垣 清
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41869
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電気株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
奥田 哲朗. 光変調器集積半導体レーザ及びその製造方法. JP3264369B2[P]. 2001-12-28.
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