Current confinement structure for vertical cavity surface emitting laser

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	Current confinement structure for vertical cavity surface emitting laser
其他题名	Current confinement structure for vertical cavity surface emitting laser
	ZHU, ZUHUA; WANG, SHIH-YUAN
	2005-04-05
专利权人	GAZILLION BITS, INC.
公开日期	2005-04-05
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) structure and fabrication method therefor are described in which a subsurface air, gas, or vacuum current confinement method is used to restrict the area of electrical flow in the active region. Using vertical hollow shafts to access a subsurface current confinement layer, a selective lateral etching process is used to form a plurality of subsurface cavities in the current confinement layer, the lateral etching process continuing until the subsurface cavities laterally merge to form a single subsurface circumferential cavity that surrounds a desired current confinement zone. Because the subsurface circumferential cavity is filled with air, gas, or vacuum, the stresses associated with oxidation-based current confinement methods are avoided. Additionally, because the confinement is achieved by subsurface cavity structures, overall mechanical strength of the current-confining region is maintained.
其他摘要	描述了一种垂直腔表面发射激光器（VCSEL）结构及其制造方法，其中使用地下空气，气体或真空电流限制方法来限制有源区中的电流面积。使用垂直空心轴进入地下电流限制层，选择性横向蚀刻工艺用于在电流限制层中形成多个次表面空腔，横向蚀刻工艺持续到地下空腔横向合并以形成单个次表面周向空腔围绕所需的电流限制区域。因为地下周向空腔充满空气，气体或真空，所以避免了与基于氧化的电流限制方法相关的应力。另外，因为通过次表面腔结构实现限制，所以保持了电流限制区域的整体机械强度。
授权日期	2005-04-05
申请日期	2003-06-23
专利号	US6876687
专利状态	失效
申请号	US10/602139
公开（公告）号	US6876687
IPC 分类号	H04B10/155 \| H04B10/152 \| H01S5/00 \| H01S5/183 \| H01L33/00 \| H01S5/20
专利代理人	-
代理机构	COOPER & DUNHAM LLP
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41597
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	GAZILLION BITS, INC.
推荐引用方式 GB/T 7714	ZHU, ZUHUA,WANG, SHIH-YUAN. Current confinement structure for vertical cavity surface emitting laser. US6876687[P]. 2005-04-05.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6876687.PDF（171KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文