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基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法
其他题名基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法
关宝璐; 郭霞; 张敬兰; 任秀娟; 郭帅; 李硕; 沈光地
2011-12-21
专利权人北京工业大学
公开日期2011-12-21
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法属于半导体光电子器件领域。该激光器为内腔接触式的层叠结构,正向电极层(1)设置在p型欧姆接触层(5)上,欧姆接触层(5)以上依次为相位调节层(13)、铝砷化镓层(3)、砷化镓层(2),欧姆接触层(5)以下依次为铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、n型铝砷化镓层(8)、n型砷化镓层(9)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极层(11),其中相位调节层(13)采用具有透光性的材料,其厚度可以根据设计双波长的位置、频差需要采用任意厚度,而不局限为激光器所输出激光波长的四分之一的整数倍。由于具有一定厚度的相位调节层可以调节激光器谐振腔内部传输光子相位变化,从而实现多波长发射。
其他摘要基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法属于半导体光电子器件领域。该激光器为内腔接触式的层叠结构,正向电极层(1)设置在p型欧姆接触层(5)上,欧姆接触层(5)以上依次为相位调节层(13)、铝砷化镓层(3)、砷化镓层(2),欧姆接触层(5)以下依次为铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、n型铝砷化镓层(8)、n型砷化镓层(9)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极层(11),其中相位调节层(13)采用具有透光性的材料,其厚度可以根据设计双波长的位置、频差需要采用任意厚度,而不局限为激光器所输出激光波长的四分之一的整数倍。由于具有一定厚度的相位调节层可以调节激光器谐振腔内部传输光子相位变化,从而实现多波长发射。
授权日期2011-12-21
申请日期2009-12-30
专利号CN101764354B
专利状态失效
申请号CN200910244429.4
公开(公告)号CN101764354B
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/06
专利代理人吴荫芳
代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41593
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
关宝璐,郭霞,张敬兰,等. 基于一维光子晶体的多波长垂直腔面发射激光器及制备方法. CN101764354B[P]. 2011-12-21.
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