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一种半导体激光器阵列连接界面表征方法及装置
其他题名一种半导体激光器阵列连接界面表征方法及装置
张普; 刘兴胜; 熊玲玲
2017-01-18
专利权人西安炬光科技股份有限公司
公开日期2017-01-18
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明研究并开发了半导体激光器阵列封装器件连接界面分析测试方法及装置,该装置能够通过无损方法表征半导体激光器连接界面存在的缺陷、空洞等性质,能够广泛应用于半导体激光器阵列封装器件性能的表征,对于提高半导体激光器性能和焊接回流工艺,以及实现无空洞封装具有非常重要的现实意义。
其他摘要本发明研究并开发了半导体激光器阵列封装器件连接界面分析测试方法及装置,该装置能够通过无损方法表征半导体激光器连接界面存在的缺陷、空洞等性质,能够广泛应用于半导体激光器阵列封装器件性能的表征,对于提高半导体激光器性能和焊接回流工艺,以及实现无空洞封装具有非常重要的现实意义。
授权日期2017-01-18
申请日期2014-08-22
专利号CN104201127B
专利状态授权
申请号CN201410418026.8
公开(公告)号CN104201127B
IPC 分类号H01L21/66
专利代理人杨引雪
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41090
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安炬光科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
张普,刘兴胜,熊玲玲. 一种半导体激光器阵列连接界面表征方法及装置. CN104201127B[P]. 2017-01-18.
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