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一种柱面光栅轴角干涉式编码器
其他题名一种柱面光栅轴角干涉式编码器
艾华; 韩旭东
2006-07-12
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2006-07-12
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要一种柱面光栅轴角干涉式编码器,属于光电测量技术领域中用于测量角位移的编码器。本发明要解决的技术问题是:在圆柱面上提取高分辨力的角位移信息。解决技术问题的技术方案是:圆柱面采用圆柱面光栅,光源采用半导体激光器,利用两个反射棱镜反射衍射光干涉,通过三个分束器裂相提取角位移信息。本发明是由角运动部分和读数部分组成的,在角运动部分中,圆柱面光栅同心套装在主轴上,随主轴转动,读数部分采用激光光源和反射棱镜以及分束器等无接触结构。该编码器结构紧凑、体积小、分辩高,具有广泛应用前景。
其他摘要一种柱面光栅轴角干涉式编码器,属于光电测量技术领域中用于测量角位移的编码器。本发明要解决的技术问题是:在圆柱面上提取高分辨力的角位移信息。解决技术问题的技术方案是:圆柱面采用圆柱面光栅,光源采用半导体激光器,利用两个反射棱镜反射衍射光干涉,通过三个分束器裂相提取角位移信息。本发明是由角运动部分和读数部分组成的,在角运动部分中,圆柱面光栅同心套装在主轴上,随主轴转动,读数部分采用激光光源和反射棱镜以及分束器等无接触结构。该编码器结构紧凑、体积小、分辩高,具有广泛应用前景。
授权日期2006-07-12
申请日期2002-08-21
专利号CN1263999C
专利状态失效
申请号CN02132803
公开(公告)号CN1263999C
IPC 分类号G01B11/26
专利代理人刘树清
代理机构长春科宇专利代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41081
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
艾华,韩旭东. 一种柱面光栅轴角干涉式编码器. CN1263999C[P]. 2006-07-12.
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