一种基于MEMS的扫描式半导体激光器

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	一种基于MEMS的扫描式半导体激光器
其他题名	一种基于MEMS的扫描式半导体激光器
	张正正; 屈志巍
	2018-07-17
专利权人	北京万集科技股份有限公司
公开日期	2018-07-17
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型提供了一种基于MEMS的扫描式半导体激光器，包括：封装基底、半导体激光器芯片、准直透镜和MEMS振镜；所述封装基底用于将所述半导体激光器芯片、所述准直透镜和所述MEMS振镜封装在一起，并固定三者之间的相对位置；所述半导体激光器芯片用于发射激光光束；所述准直透镜用于将所述激光光束进行准直；所述MEMS振镜用于对所述激光光束进行反射使得所述激光光束的出射方向偏转；所述MEMS振镜在驱动信号的驱动下在二维空间内往复振动，使得由所述MEMS振镜反射的激光光束变为扫描激光光束。本实用新型大大减小了激光光源的尺寸，为后续激光扫描以及整形减小压力，更有利于激光传感器的小型化。
其他摘要	本实用新型提供了一种基于MEMS的扫描式半导体激光器，包括：封装基底、半导体激光器芯片、准直透镜和MEMS振镜；所述封装基底用于将所述半导体激光器芯片、所述准直透镜和所述MEMS振镜封装在一起，并固定三者之间的相对位置；所述半导体激光器芯片用于发射激光光束；所述准直透镜用于将所述激光光束进行准直；所述MEMS振镜用于对所述激光光束进行反射使得所述激光光束的出射方向偏转；所述MEMS振镜在驱动信号的驱动下在二维空间内往复振动，使得由所述MEMS振镜反射的激光光束变为扫描激光光束。本实用新型大大减小了激光光源的尺寸，为后续激光扫描以及整形减小压力，更有利于激光传感器的小型化。
授权日期	2018-07-17
申请日期	2017-12-06
专利号	CN207625073U
专利状态	授权
申请号	CN201721687293.0
公开（公告）号	CN207625073U
IPC 分类号	H01S5/06 \| G02B26/08
专利代理人	王莹 \| 李相雨
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41080
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	北京万集科技股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	张正正,屈志巍. 一种基于MEMS的扫描式半导体激光器. CN207625073U[P]. 2018-07-17.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN207625073U.PDF（358KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文