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一种高频高线性摆镜检测系统
其他题名一种高频高线性摆镜检测系统
吴李宗; 张德祥; 王锦华; 陈轩
2018-06-19
专利权人扬州莱达光电技术有限公司
公开日期2018-06-19
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型公开了一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。本实用新型所提供的高线性摆镜检测系统,整机结构紧凑,且操作方便,安全性好,可以适应于外界各种干扰,检测精确性高。
其他摘要本实用新型公开了一种高频高线性摆镜检测系统,包括光学平台、测试设备和控制系统,测试设备包括设置在光学平台上方的扫描器动态轨迹测量光路、扫描器过零检测电路、半导体激光光源、四通道虚拟示波器和操作显示台,所述扫描器动态轨迹测量光路包括带二维调节机构激光平行光管和轨迹接收系统,所述扫描器动态轨迹测量光路包括自准直行光管和二维微调工作台,所述半导体激光光源经光纤输出作为带二维调节机构激光平行光管和自准直平行光管的激光光源,所述四通道虚拟示波器用于连接两路PSD的Vx、Vy信号。本实用新型所提供的高线性摆镜检测系统,整机结构紧凑,且操作方便,安全性好,可以适应于外界各种干扰,检测精确性高。
授权日期2018-06-19
申请日期2017-11-10
专利号CN207515998U
专利状态授权
申请号CN201721496074.4
公开(公告)号CN207515998U
IPC 分类号G01M11/00
专利代理人黄冠华
代理机构北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40952
专题半导体激光器专利数据库
作者单位扬州莱达光电技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
吴李宗,张德祥,王锦华,等. 一种高频高线性摆镜检测系统. CN207515998U[P]. 2018-06-19.
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CN207515998U.PDF(618KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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