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集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法
其他题名集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法
吴旭明; 王小东; 谭满清
2010-11-24
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2010-11-24
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器,包括:一衬底;一下布拉格反射镜制作在衬底上;一下限制层制作在下布拉格反射镜上;一下波导层制作在下限制层上,该下波导层是带隙波长为2微米的铟镓砷磷材料;一有源区制作在下波导层上;一上波导层制作在有源区上,该上波导层是带隙波长为2微米的铟镓砷磷材料;一上限制层制作在上波导层上;一上布拉格反射镜制作在上限制层上面的中间;一欧姆接触层制作在上限制层上,位于上布拉格反射镜的两侧;一上电极制作在欧姆接触层上,位于上布拉格反射镜的两侧;一下电极制作在衬底的下面。
其他摘要一种集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器,包括:一衬底;一下布拉格反射镜制作在衬底上;一下限制层制作在下布拉格反射镜上;一下波导层制作在下限制层上,该下波导层是带隙波长为2微米的铟镓砷磷材料;一有源区制作在下波导层上;一上波导层制作在有源区上,该上波导层是带隙波长为2微米的铟镓砷磷材料;一上限制层制作在上波导层上;一上布拉格反射镜制作在上限制层上面的中间;一欧姆接触层制作在上限制层上,位于上布拉格反射镜的两侧;一上电极制作在欧姆接触层上,位于上布拉格反射镜的两侧;一下电极制作在衬底的下面。
授权日期2010-11-24
申请日期2006-06-22
专利号CN101093931B
专利状态失效
申请号CN20061008655X
公开(公告)号CN101093931B
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/20 | H01S5/187 | H01S5/04 | H01S5/343
专利代理人汤保平
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40918
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吴旭明,王小东,谭满清. 集成泵浦光源的长波长垂直腔面发射激光器及制作方法. CN101093931B[P]. 2010-11-24.
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