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一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器
其他题名一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器
路国光; 单肖楠; 何春凤; 秦丽; 宴长岭
2006-11-22
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2006-11-22
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明属于半导体激光技术领域,具体涉及一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射激光器,由于采用增透膜(4)、微通道散热片(13)和望远镜(14)。外腔镜(2)与半导体分布布拉格反射镜(8)相隔20-50mm,构成激光器的外腔,在外腔中加入望远镜(14)就构成了望远镜谐振腔。采用望远镜谐振腔,能够获得可靠的大体积TEM00模工作,对望远镜进行适当调节,能够控制选模过程。本发明的HfO2增透膜,粘附性好、致密、均匀、无针孔、在有效通光孔径内膜层无裂纹、擦痕、点子、灰雾及色斑、可以用于苛刻的环境中。
其他摘要本发明属于半导体激光技术领域,具体涉及一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射激光器,由于采用增透膜(4)、微通道散热片(13)和望远镜(14)。外腔镜(2)与半导体分布布拉格反射镜(8)相隔20-50mm,构成激光器的外腔,在外腔中加入望远镜(14)就构成了望远镜谐振腔。采用望远镜谐振腔,能够获得可靠的大体积TEM00模工作,对望远镜进行适当调节,能够控制选模过程。本发明的HfO2增透膜,粘附性好、致密、均匀、无针孔、在有效通光孔径内膜层无裂纹、擦痕、点子、灰雾及色斑、可以用于苛刻的环境中。
授权日期2006-11-22
申请日期2005-07-14
专利号CN1286229C
专利状态失效
申请号CN200510016970.1
公开(公告)号CN1286229C
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/10
专利代理人马守忠
代理机构长春科宇专利代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40710
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
路国光,单肖楠,何春凤,等. 一种带望远镜谐振腔的垂直外腔面发射半导体激光器. CN1286229C[P]. 2006-11-22.
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