Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 半导体激光光刻直写设备 | |
| 其他题名 | 半导体激光光刻直写设备 |
| 项宗齐; 方林; 何少峰; 赵美云 | |
| 2018-01-26 | |
| 专利权人 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 公开日期 | 2018-01-26 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 外观设计 |
| 摘要 | 本外观设计产品的名称：半导体激光光刻直写设备。 2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于芯片及掩膜版的光刻制造，是芯片加工的核心装备。 3．本外观设计产品的设计要点：在于本外观产品的整体形状。 4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。 指定立体图用于出版专利公报。 5．省略视图：仰视图不涉及设计要点，省略仰视图。 |
| 其他摘要 | 本外观设计产品的名称：半导体激光光刻直写设备。 2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于芯片及掩膜版的光刻制造，是芯片加工的核心装备。 3．本外观设计产品的设计要点：在于本外观产品的整体形状。 4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。 指定立体图用于出版专利公报。 5．省略视图：仰视图不涉及设计要点，省略仰视图。 |
| 授权日期 | 2018-01-26 |
| 申请日期 | 2017-08-08 |
| 专利号 | CN304477391S |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201730360290.5 |
| 公开（公告）号 | CN304477391S |
| IPC 分类号 | - |
| 专利代理人 | 奚华保 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所(普通合伙) |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40382 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 项宗齐,方林,何少峰,等. 半导体激光光刻直写设备. CN304477391S[P]. 2018-01-26. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN304477391S.PDF（287KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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