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一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具
其他题名一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具
彭海涛; 蒋红旺; 张发智; 张世祖; 家秀云
2015-05-13
专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所
公开日期2015-05-13
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型属于半导体激光器镀膜工艺技术领域,具体公开了一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具,包括基体、滑块、夹持机构和底座,基体中部设有贯穿的通孔,通孔的中部设有垂直的一对平行滑轨,内置第一滑块和第二滑块,紧贴第一滑块设置有螺栓,穿过基体上的螺纹与滑块垂直;底座的顶面上方为设有凹槽的载台,凹槽的宽度小于芯片的长度,用来承载芯片,芯片的两端设有限位块,防止芯片歪斜,所述载台位于通孔内,所述底座的顶面、载台的顶面与基体的底面相互平行。本实用新型采用堆叠-夹持的方式固定芯片,具有结构简单、易于加工、方便实用的优点,能够使芯片夹持牢固,减弱或避免芯片在装片过程中对腔面的损伤和污染,同时能提升装片效率。
其他摘要本实用新型属于半导体激光器镀膜工艺技术领域,具体公开了一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具,包括基体、滑块、夹持机构和底座,基体中部设有贯穿的通孔,通孔的中部设有垂直的一对平行滑轨,内置第一滑块和第二滑块,紧贴第一滑块设置有螺栓,穿过基体上的螺纹与滑块垂直;底座的顶面上方为设有凹槽的载台,凹槽的宽度小于芯片的长度,用来承载芯片,芯片的两端设有限位块,防止芯片歪斜,所述载台位于通孔内,所述底座的顶面、载台的顶面与基体的底面相互平行。本实用新型采用堆叠-夹持的方式固定芯片,具有结构简单、易于加工、方便实用的优点,能够使芯片夹持牢固,减弱或避免芯片在装片过程中对腔面的损伤和污染,同时能提升装片效率。
授权日期2015-05-13
申请日期2015-01-29
专利号CN204333598U
专利状态授权
申请号CN201520063199.2
公开(公告)号CN204333598U
IPC 分类号H01S5/02 | H01S5/028
专利代理人米文智
代理机构石家庄国为知识产权事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40151
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国电子科技集团公司第十三研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
彭海涛,蒋红旺,张发智,等. 一种半导体激光器芯片腔面镀膜夹具. CN204333598U[P]. 2015-05-13.
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