一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达

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	一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达
其他题名	一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达
	佟建; 屈志巍; 陈佳
	2018-07-17
专利权人	北京万集科技股份有限公司
公开日期	2018-07-17
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型提供了一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，所述基于MEMS振镜的准直系统，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。本实用新型提供的基于MEMS振镜的准直系统，能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角和系统体积，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。
其他摘要	本实用新型提供了一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，所述基于MEMS振镜的准直系统，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等。本实用新型提供的基于MEMS振镜的准直系统，能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角和系统体积，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。
授权日期	2018-07-17
申请日期	2017-12-01
专利号	CN207623628U
专利状态	授权
申请号	CN201721651192.8
公开（公告）号	CN207623628U
IPC 分类号	G02B27/30 \| G02B27/09
专利代理人	王莹 \| 李相雨
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39735
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	北京万集科技股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	佟建,屈志巍,陈佳. 一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达. CN207623628U[P]. 2018-07-17.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN207623628U.PDF（420KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文