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输出相干激光的激光器阵列
其他题名输出相干激光的激光器阵列
曹银花; 邢正锟; 邱运涛; 李景; 王智勇
2019-08-16
专利权人北京工业大学
公开日期2019-08-16
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明提供了一种输出相干激光的激光器阵列,包括:种子激光器、光波导结构、光学天线阵列、准直透镜阵列和垂直腔面发射激光器VCSEL阵列;光波导结构包括第一波导和第二波导组,第一波导用于传输种子光,并将种子光耦合至第二波导组中每一第二波导;光学天线包括:耦合单元、相位调制单元和发射单元;发射单元用于使调制后的种子光沿对应的准直透镜的光轴方向传输;准直透镜阵列用于将接收到的种子光准直至VCSEL阵列;VCSEL阵列用于对接收到的准直后的种子光进行光放大形成的激光。本发明提供的一种基于光波导结构传输技术实现对大功率种子光均匀分光注入锁定的二维VCSEL阵列,可以得到高功率、高相干性的多束激光。
其他摘要本发明提供了一种输出相干激光的激光器阵列,包括:种子激光器、光波导结构、光学天线阵列、准直透镜阵列和垂直腔面发射激光器VCSEL阵列;光波导结构包括第一波导和第二波导组,第一波导用于传输种子光,并将种子光耦合至第二波导组中每一第二波导;光学天线包括:耦合单元、相位调制单元和发射单元;发射单元用于使调制后的种子光沿对应的准直透镜的光轴方向传输;准直透镜阵列用于将接收到的种子光准直至VCSEL阵列;VCSEL阵列用于对接收到的准直后的种子光进行光放大形成的激光。本发明提供的一种基于光波导结构传输技术实现对大功率种子光均匀分光注入锁定的二维VCSEL阵列,可以得到高功率、高相干性的多束激光。
授权日期2019-08-16
申请日期2017-12-30
专利号CN107994459B
专利状态授权
申请号CN201711489418.3
公开(公告)号CN107994459B
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/40 | H01S5/42
专利代理人王莹 | 吴欢燕
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38852
专题半导体激光器专利数据库
作者单位北京工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
曹银花,邢正锟,邱运涛,等. 输出相干激光的激光器阵列. CN107994459B[P]. 2019-08-16.
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CN107994459B.PDF(462KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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