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一种具有ODR的倒装VCSEL芯片
其他题名一种具有ODR的倒装VCSEL芯片
贾钊; 赵炆兼; 郭冠军; 曹广亮; 赵丽
2019-08-06
专利权人厦门乾照半导体科技有限公司
公开日期2019-08-06
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片,包括:导电层;设置于所述导电层上的金属反射层;分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层,所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布;设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层;设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层;设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层;以及设置于所述第二DNR层远离所述有源层一侧的电极。本实用新型通过欧姆接触层限制电流,绝缘层和金属反射层构成ODR结构实现全反射,不受氧化层限制、散热性好,并且制作工艺简单。
其他摘要本实用新型提供一种具有ODR的倒装VCSEL芯片,包括:导电层;设置于所述导电层上的金属反射层;分别设置于所述金属反射层远离所述导电层一侧的欧姆接触层和绝缘层,所述绝缘层环绕所述欧姆接触层分布;设置于所述欧姆接触层和所述绝缘层远离所述金属反射层一侧的第一DBR层;设置于所述第一DBR层远离所述欧姆接触层和所述绝缘层一侧的有源层;设置于所述有源层远离所述第一DBR层一侧的第二DBR层;以及设置于所述第二DNR层远离所述有源层一侧的电极。本实用新型通过欧姆接触层限制电流,绝缘层和金属反射层构成ODR结构实现全反射,不受氧化层限制、散热性好,并且制作工艺简单。
授权日期2019-08-06
申请日期2019-01-30
专利号CN209217431U
专利状态授权
申请号CN201920164730.3
公开(公告)号CN209217431U
IPC 分类号H01S5/183
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38818
专题半导体激光器专利数据库
作者单位厦门乾照半导体科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
贾钊,赵炆兼,郭冠军,等. 一种具有ODR的倒装VCSEL芯片. CN209217431U[P]. 2019-08-06.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN209217431U.PDF(725KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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